關于渦旋式真空泵的技術交流
真空泵是指利用機械、物理、化學或物理和化學的方法來吸收被吸收容器并獲得真空的設備或設備。一般來說，真空泵是一種通過各種方法來改善、生產(chǎn)和維持某個封閉空間的裝置。

關于渦旋式真空泵的技術交流

一、渦旋真空泵的基本特點
渦旋真空泵是由渦旋壓縮機演變而來的。該機構原理最早于1905年由法國人Cruex發(fā)明，由于當時的工藝技術沒有應用于現(xiàn)實，直到20世紀80年代左右才應用于真空技術領域。結構簡單，零件少，間隙小，泄漏率小，壓縮比高，壓需冷卻水與潤滑油，維護簡單，可靠性高。

由于渦旋式真空泵自身型線的特點，一般情況下，渦旋式真空泵泵的抽速不超過1000L/min；抽速大于4L/s的渦旋泵一般采用雙側渦旋結構，而抽速小于4L/s的則多采用單側渦旋結構，極限真空在1Pa左右。

二、渦旋真空泵的工作原理
渦旋真空泵的工作腔由一對型線共軛渦旋盤副嚙合安裝組成。渦旋盤是一種渦旋盤狀結構，在盤面上有一個或幾個漸開線螺旋槽。靜渦盤與動渦盤交錯組裝在一起，靜盤防旋轉機構保證180°相位差。這樣，一對渦旋盤副組成了無油渦旋真空泵的抽氣機構。

靜渦旋盤和動渦旋盤在幾條直線（橫截面上有幾個點）上相互接觸，形成幾對新月形封閉腔。在曲軸驅動下，動渦旋盤繞著靜渦旋盤的渦旋體中心移動，接觸點沿渦旋曲面移動以吸入、壓縮和排氣。

在電機的驅動下，曲軸每轉一圈，形成一組新的新月牙封閉腔，實現(xiàn)渦旋真空泵的吸氣、壓縮和排氣循環(huán)，形成包容性和強制輸送被泵氣體。

三、渦旋真空泵的結構特點
渦旋真空泵結構簡單，主要由五個部件組成。

①動靜渦旋盤副與基座；②曲軸；③密封件；④防自轉機構；⑤電機渦旋真空泵結構。

渦旋真空泵的主要運動部件只有動渦旋盤，動力傳遞簡單，相同尺寸下運動半徑小，結構簡單緊湊，運行平穩(wěn)，幾乎無磨損，功耗小，這是其他類型的干真空泵所不具備的。

渦旋真空泵抽速速度小，不適用于有毒、易燃易爆氣體、腐蝕性氣體、藥物、溶劑、粉末等介質環(huán)境。因此，目前渦旋真空泵主要用于分析儀器、半導體芯片生產(chǎn)線、液晶顯示器生產(chǎn)線和科研設備。由于它可以直接在大氣壓下啟動，它經(jīng)常作為分子泵和小型低溫泵出現(xiàn)。